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光學檢測技術是透過光學原理，可達到較快掃瞄速度以及大面積掃描，相對地，其解析度以及捕捉缺陷敏感度較差。 而電子束檢測以聚焦電子束為檢測源，靈敏度最高，但檢測速度最慢且價格最高。採用電子束檢測時，入射電子束激發出二次電子 ...

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